1。反応焼結法（RS）

一般的な成形方法を採用している。まず、シリコン粉末を所望の形状の緑色体にプレスした後、Pre-窒化（部分窒化）焼結処理のために窒化炉内に配置する。 PRE-窒化後の緑色体はある程度の強度を有し、様々な機械的処理（例えば、旋回、平坦化、粉砕、穿孔）、そして最後に、シリコンの融点を超える温度で実行することができる。グリーン体は再び窒化されて焼結して寸法変化が少ない（すなわち、緑色の体が焼結された後、速度は非常に小さい、線形収縮率は<011％）、一般的になることができる。研削なしで使用されます。反応焼結法は、複雑な形状および正確な寸法を有する部品の製造に適しており、コストも低くなるが、窒化時間は非常に長い。反応性焼結窒化ケイ素の\u003Cn

\\高価な機械加工と寸法精度を持つ複雑な形状を持つ製品のNMANU製造焼結を追加する必要はありません。

2。ホットプレス焼結法（HPS）

3 Si 3 N 4粉末および少量の添加剤（MgO、Al 2 O 3、MgF 2、Fe 2 O 3など）は、1916MPaを超える圧力および上記の温度で焼成されて焼結される。 1600℃。イギリスとアメリカのいくつかの企業が使用している熱いedped Si3N4セラミックスは981MPa以上の強さを持ち、焼結中の添加剤および期間組成は製品性能に大きな影響を与えます。粒界相の組成の厳密な制御およびSi 3 N 4セラミックの焼結後の適切な熱処理のために、その場合でも強度が著しく低下しないSi 3 N 4シリーズセラミック材料を得ることが可能である。温度は1300℃と同じくらい高く、クリープ抵抗変性は3桁改善することができます。 Si 3 N 4セラミック材料が14001500℃の高温でPRE

OXID化されている場合、Si 2 N 2 O相はセラミック材料の表面上に形成され、これはSi 3 N 4セラミックの酸化性および高温強度を著しく改善することができる。ホットプレス焼結によって製造されたSi 3 N 4セラミックの機械的性質は、高強度および高密度の反応焼結Si 3 N 4のものより優れている。しかしながら、製造コストは高く、焼結装置は複雑である。焼結体の収縮が大きいため、製品の寸法精度はある程度制限されています。複雑な部品を製造することは困難です。簡単な形状の部品のみを製造することができ、ワークの機械加工も困難である。高温の焼結窒化ケイ素の熱減圧率：

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kidvantages：強度を得ることができます。

diSvantages：low生産効率、高コスト、単純な製品形状、後続の加工が難しい。

3。焼結窒素雰囲気の圧力を高めるための大気圧焼結（PLS）

INでは、Si 3 N 4の分解温度が上昇する（通常はN 21 ATMで、1800℃から分解し始める）そして、1700

1800℃の温度範囲での常圧焼結後、ガス圧焼結は1800

2000℃の温度範囲で行われる。この方法の目的は、Si 3 N 4セラミックの緻密化を促進するために空気圧を使用することであり、それによってセラミックの強度を高めることです。得られた生成物の特性は、焼成焼結に同様の欠点を有する焼結焼結焼結焼結のそれよりわずかに低い。=--4。ガス圧力焼結法（GPS）--

IN近年、人々はガス圧力焼結に関する研究をたくさん行い、大きな進歩を遂げました。窒化シリコンのガス圧焼結は、110 MPaの圧力下で約2000℃の温度で行われ、高窒素圧は窒化ケイ素の高温分解を阻害する。高温焼結の使用により、焼結助剤の添加は、Si 3 N 4粒子の増殖を促進するのに十分であり、密度を有する長柱状粒子のsitu成長を含む高い

性度セラミックが得られる。 。そのため、実験室や製造においても、空気圧焼結をもっと多くの注意が払われています。ガス圧焼結窒化ケイ素セラミックスは、高い靭性、高強度および良好な耐摩耗性を有し、最終形状に近い様々な複雑な形状を直接製造することができ、これは製造コストおよび処理コストを大幅に削減することができる。その製造方法は、近い大量生産に適している超硬合金の製造方法、である。

--5。焼結助剤の存在下で窒化ケイ素粉末中に反応焼結（PS）を焼結（PS）×n×n焼結焼結Si 3 N 4焼結焼結Si 3 N 4 N 4を入れ、高温でRe-乳化して緻密なSi 3 N 4生成物を得る。焼結助剤は、シリコン粉末のボールミル中に導入することができ、またはそれは、含浸による反応焼結後に含浸により添加することができます。反応焼結プロセス中のプレハブに起因する複雑な形状と優れた性能を持つ部品を製造することができるので、再>sintering工程中の収縮は、わずか6％〜10％である

\\重焼結nAdvantages：は

UPがホットに匹敵する99％の密度、

pressedのSi 3 N 4である。--

6。窒化ケイ素と焼結助剤の熱間静水圧プレス（HIP）

の混合粉末は、金属やガラスエンベロープ内に封入され、そして真空引きした後、高圧ガスによる高温で焼結されます。一般的に使用される圧力はは200MPaであり、温度は2000℃です。理論密度に達することができる窒化ケイ素の押圧が、その工程が複雑であり、コストが高い静水圧ホット。

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